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微感应耦合等离子体源生长碳膜及其结构研究
中文名称: 微感应耦合等离子体源生长碳膜及其结构研究
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论文编号: 3806094收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Study on Growth and Structure of a-C:H Films Prepared by an Inductively Coupled Micro-plasma Jet
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 材料物理与化学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 微感应耦合等离子体射流 类金刚石碳膜 拉曼光谱 光学带隙 感应耦合 等离子体射流 碳膜
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
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论文简介:提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生。朗缪探针监测了喷嘴处等离子体的电子温度、电子密度、离子密度。台阶仪、激光拉曼光谱、傅立叶红外光谱及紫外-可见光谱分别用以研究不同入射功率、基片负偏压、气体流量比R(R=[H2]/[H2+CH4])对所生长的非晶碳膜成膜速率和结构性能的影响。结果表明:碳基微等离子体射流具有很强的活性,随着功率的增加碳膜生长速率呈凹型变化趋势,在250W处存在一速率峰值约为1.1μm/min,碳膜生长速率随基片负偏压和R的增加而降低。Raman光谱显示所制备碳膜在1350cm-1、1580cm-1附近存在D峰、G峰,是典型的类金刚石碳膜;薄膜中碳主要以SP2碳、SP3碳及无序的聚合碳链形式存在。随入射功率和基片负偏压的增加,薄膜中聚物碳链结构被打断,分解形成SP2、SP3碳杂化态,Raman荧光本底减弱,半峰宽的降低表明薄膜结构有序性增强。随功率的增加ID/IG成降低趋势,随基片负偏压的增加ID/IG呈上升趋势,随流量比R的增加,ID/IG降低,Eg变大。
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