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SRO薄膜的直流溅射生长
中文名称: SRO薄膜的直流溅射生长
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论文编号: 3514552收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: 无英文名称
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 微电子学与固体电子学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: SRO 薄膜 直流溅射 BST 薄膜 BST薄膜 电极材料 烧结工艺 生长工艺
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
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论文简介:本论文主要研究SRO薄膜的生长工艺,为在铁电薄膜器件中的应用奠定基础.首先,本论文开展了筒形SRO陶瓷靶材的烧结工艺研究,通过大量实验,优化了烧结工艺,其烧结温度为1 550℃、保温24小时.所制备的靶材结构致密、结晶良好.采用倒筒式直流溅射法在LAO和Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上沉积SRO薄膜.系统研究了基片温度、溅射气体压强、O<,2>/Ar和溅射功率等对薄膜表面形貌、结晶情况的影响,优化了SRO薄膜的生长工艺参数,制备出了结构致密、表面平整、结晶良好的SRO薄膜,室温电阻率约为370μΩ-cm.在SRO优化工艺条件下成功生长出了BST/SRO集成薄膜.BST薄膜的介电常数约为51 0,介电损耗为1.6%-2%.居里温度为288K,BST薄膜的I-V曲线表明:在70KV/cm电场下,漏电流密度为2×10<'-7>A/cm<'2>.用串联电容模型解释了C-V曲线中正反偏压下曲线不对称的现象.
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