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分布电容式介质移相器的研制
中文名称: 分布电容式介质移相器的研制
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论文编号: 3514130收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: 无英文名称
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 微电子学与固体电子学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 介质移相器 共面波导 平板电容 铁电薄膜 电容式 器件 有源相控阵雷达
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
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论文简介:本文主要研究了在毫米波有源相控阵雷达的T/R组件中有重要应用前景的铁电薄膜介质移相器.通过对本教研室已经提出的一种新型的分布电容式薄膜介质移相器的设计方法、加工工艺条件与实际测试情况的分析,改进介质移相器中不足的地方.这种新型分布电容式薄膜介质移相器的由共面波导高阻传输线和周期加载的平板BST薄膜电容构成.结合该器件的特点,利用现有的高频电磁仿真软件进行了综合分析,再选择ANSOFT HESS来对器件进行结构仿真的同时,还选择ADS来对器件进行系统仿真,研究了移相器各项结构参数、薄膜电性能参数对器件整体性能产生影响的规律,以此来辅助移相器的设计与加工.对移相器加工工艺进行了深入的研究并摸索出合适的工艺条件,最后完成器件的制作与测试.
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