| 中文名称： |
非平衡闭合磁场磁控溅射设备的设计、制造及应用 |
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| 论文编号： |
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| 英文名称： |
Design, Manufacture and Application of an Unbalance and Close Magnetron Sputtering Equipment |
| 学位类型： |
硕士毕业论文 |
| 作者： |
涉及隐私，隐去*** 作者本人请参看权力声明>> |
| 导师： |
涉及隐私，隐去*** |
| 毕业学校： |
涉及隐私，隐去*** |
| 专业： |
材料工程  |
| 毕业年份： |
涉及隐私，隐去*** |
| 关键字： |
离子镀 磁控溅射 设计 应用 TiCN涂层 刀具 |
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