免费论文
收费论文
发表论文
我要投稿
设为首页 招标网
联系我们
经济学|管理学|法学|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多 经济学|管理学|法律|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多
 论文搜索
  推荐服务: 论文发表 收费论文
期刊论文格式
毕业论文格式
期刊论文范文
毕业论文范文
论文致谢
毕业论文答辩
开题报告
论文选题
英文摘要书写
RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究
中文名称: RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  
论文编号: 3116158收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Study of RF MEMS Variable Capacitor and Voltage Controlled Oscillator
学位类型: 博士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 微电子学与固体电子学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: RF MEMS可变电容 Q值 压控振荡器 单边带相位噪声 双稳态 压膜阻尼 机械热噪声
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  

       论文发表:快速、低价、包过!发表论文就找论文天下

论文摘要: 近年来,随着无线通信系统的飞速发展,对低相位噪声压控振荡器(V(略)也同益增加.VCO的调谐能力通常由可变电容来实现,要获得低相位噪声,需要高Q值的片上可变电容.然而,利用标准的集成电路工艺实(略)上可变电容是非常困难的.因此,现在的VCO器件通常采用片外分立的PN结变容二极管,这样不仅增加了系统的面积,而且存在封装复杂、功耗高以及成本高等缺点.因此,迫切需要能与VCO电路单片集成的高Q值的可变电容. 本论文采用全波电磁场仿真软件对凹型结构RF MEMS可变电容(略)行了优化,优化目标为可变电容在2GHz时Q值最高.并对寄生电容量进行了讨论,在此基础上,得出了可变电容的单端口等效电路模型.根据优化后的结构,采用有限元分析软件得到了吸合电压及一阶谐振频率. 对平行板结构RF MEMS可变电容的运动(略)线性分析.采用迭代方法对其动力学方程进行了求解,建立了动力学模型.并对空气压膜阻尼以及外加电压对运动的影响进行了详细讨论.首次发现了在RF MEMS可变电容存在(略),并对此现象出现的原因进行了说明.把双稳态的特性应用于研究可变电容的调节范围,在理论上...
In recent years, increased demand for wireles(omitted)ation systems motivates a growing interest in low phase noise voltage controlled oscillator (VCO). The tunability of VCO is normally provided (omitted)ble capacitor. Achieving low phase noise requires a high(omitted)(omitted)capacitor. However, it is very difficult to realize a high-Q on-chip variable capacitor by standard integrated circuit (IC) process. Hence, current VCO is often implemented by an external PN junction varactor. The(omitted)device...
目录:
摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第11-34页
  ·-1 引言第11-12页
  ·-2 传统的片上可变电容第12-14页
    ·-2-1 PN结变容二极管第12-13页
    ·-2-2 MOS变容管第13-14页
  ·-3 RF MEMS可变电容的发展第14-26页
    ·-3-1 表面微机械 RF MEMS可变电容第15-23页
    ·-3-2 体微机械 RF MEMS可变电容第23页
    ·-3-3 LIGA工艺 RF MEMS可变电容第23-24页
    ·-3-4 国内RF MEMS可变电容的发展第24-25页
    ·-3-5 RF MEMS可变电容的发展趋势第25-26页
  ·-4 压控振荡器的研究历史第26-27页
  ·-5 RF MEMS压控振荡器的发展第27-33页
    ·-5-1 集成了RF MEMS可变电容的压控振荡器第27-30页
    ·-5-2 集成了RF MEMS电感的压控振荡器第30-31页
    ·-5-3 国内RF MEMS压控振荡器的发展第31-32页
    ·-5-4 RF MEMS压控振荡器的发展趋势第32-33页
  ·-6 本论文的主要内容第33-34页
第2章 RF MEMS可变电容的设计第34-63页
  ·-1 RF MEMS可变电容的性能参数第34-35页
  ·-2 RF MEMS可变电容的电学特性设计第35-52页
    ·-2-1 HFSS软件理论介绍第35-37页
    ·-2-2 共面波导(CPW)传输线的分析和设计第37-43页
      ·-2-2-1 CPW传输线特性分析第37-39页
      ·-2-2-2 CPW传输线尺寸设计第39-43页
    ·-2-3 凹型结构 RF MEMS可变电容的电学特性设计第43-52页
      ·-2-3-1 Q值的优化第45-48页
      ·-2-3-2 寄生电容讨论第48-52页
  ·-3 RF MEMS可变电容的力学特性设计第52-62页
    ·-3-1 有限元法简介第52-53页
    ·-3-2 RF MEMS可变电容的耦合场分析第53-57页
    ·-3-3 模态分析第57-62页
      ·-3-3-1 凹型结构的 RF MEMS可变电容的模态分析第58-60页
      ·-3-3-2 平行板结构的 RF MEMS可变电容的模态分析第60-62页
  ·-4 小结第62-63页
第3章 RF MEMS可变电容的动力学及双稳态分析第63-75页
  ·-1 引言第63-64页
  ·-2 动力学模型的建立第64-65页
  ·-3 基于动力学模型的运动过程分析第65-71页
    ·-3-1 空气压膜阻尼对运动的影响第66-68页
    ·-3-2 外加电压对运动的影响第68-69页
    ·-3-3 运动极板可能存在的三种运动情况第69-71页
  ·-4 双稳态现象分析第71-73页
    ·-4-1 双稳态现象讨论第71-72页
    ·-4-2 双稳态现象出现的原因第72-73页
  ·-5 RF MEMS可变电容的调节范围讨论第73-74页
  ·-6 小结第74-75页
第4章 RF MEMS可变电容的制备与测试第75-89页
  ·-1 RF MEMS可变电容的制备第75-79页
    ·-1-1 RF MEMS开关的工艺流程第75-77页
    ·-1-2 RF MEMS可变电容的工艺流程第77-78页
    ·-1-3 工艺改进第78-79页
  ·-2 RF MEMS可变电容的版图设计与实现第79-82页
  ·-3 RF MEMS可变电容的测试与分析第82-88页
    ·-3-1 微波特性测试第83-86页
    ·-3-2 C-V特性测试第86-87页
    ·-3-3 测试结果分析第87-88页
  ·-4 小结第88-89页
第5章 压控振荡器及其相位噪声研究第89-111页
  ·-1 压控振荡器的数学模型第89-91页
  ·-2 振荡器的工作原理第91-95页
    ·-2-1 反馈振荡器的工作原理第91-94页
      ·-2-1-1平衡条件第92页
      ·-2-1-2 起振条件第92-93页
      ·-2-1-3 稳定条件第93-94页
    ·-2-2 负阻振荡器的工作原理第94-95页
  ·-3 振荡器的相位噪声特性第95-96页
  ·-4 振荡器的相位噪声分析模型第96-104页
    ·-4-1 线性时不变(LTI)相位噪声模型第97-101页
      ·-4-1-1 Lesson相位噪声模型第97-99页
      ·-4-1-2 Craninckx和 Razavi相位噪声模型第99-101页
    ·-4-2 线性时变(LTV)相位噪声模型第101-104页
      ·-4-2-1 Demir和 Mehrotra的非线性扰动模型第101页
      ·-4-2-2 Hajimiri和 Lee的相位噪声模型第101-104页
  ·-5 MEMS VCO的相位噪声模型第104-110页
    ·-5-1 位移功率谱密度分析第105-106页
    ·-5-2 机械热噪声计算第106-107页
    ·-5-3 机械热噪声优化第107-109页
    ·-5-4 MEMSVCO的相位噪声讨论第109-110页
  ·-6 小结第110-111页
第6章 RF MEMS 压控振荡器的研制第111-123页
  ·-1 微波薄膜混合集成电路工艺简介第111-112页
  ·-2 RF MEMS压控振荡器的低相位噪声设计第112-113页
  ·-3 RF MEMS压控振荡器的电路设计第113-117页
    ·-3-1 设计原理第113页
    ·-3-2 电路设计第113-117页
  ·-4 RF MEMS压控振荡器的制作与测试第117-122页
    ·-4-1 RF MEMS压控振荡器的制作第117-118页
    ·-4-2 RF MEMS压控振荡器的测试第118-122页
  ·-5 小结第122-123页
第7章 结论第123-124页
参考文献第124-130页
附录第130-136页
致谢第136-137页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第137页
本类相关论文:
·同轴虚阴极振荡器基础理论研究及原理性实验
·Colpitts微波混沌及其雷达应用
·CMOS振荡器噪声理论及优化技术研究
·连续波至纳秒脉冲光学参量振荡器的研究
·自由电子激光振荡器光腔问题的理论研究
·调制型虚阴极振荡器的研究
·新型磁绝缘线振荡器的研究
·新型渡越时间振荡器的研究
·超导约瑟夫森结阵列振荡器研究
·X波段渡越辐射振荡器的理论和实验研究
RF论文 Q值论文
·电容式RF MEMS开关设计与性能研究
·磁共振诊断类风湿关节炎的价值研究
·基于DSP的无线通信实验系统的设计与开发
·GSM接收机同步技术研究与基于FPGA和DSP
·100千瓦数字幅相调制发射机关键技术研究
·高Q值微波光子学滤波器的理论和实验研究
·零偏VSP资料的Q值反演方法及应用
·MgB_2超导接收线圈的研究
·近视眼人群角膜Q值及其相关因素分析
·腔式束流位置监测系统及其相关研究
压控振荡器论文 双稳态论文
·压控振荡器SET效应敏感性分析与设计加固
·锁相环中单粒子瞬变效应的分析与加固
·极低电压应用的低功耗低相噪压控振荡器的研究与实
·CDMA手机CX1880射频电路的设计与研究
·基于0.18μm RF CMOS工艺的ΔΣ小数
·光子晶体中的缺陷模特性研究
·表面极化、挠曲电极化与NLC盒双稳态研究
·微环激光器的设计与测量
·大攻角细长旋成体非对称涡组合扰动控制的数值研究
·含复合缺陷的一维光子晶体的非线性传输特性的研究
  推荐期刊投稿
·企业与文化
·Reading and Writ
·安徽师范大学学报(自然科学版)
·现代经济(现代物业下半月刊)
·液压与气动
·西藏科技
·开卷有益.求医问药
·湖南工业职业技术学院学报
·当代图书馆
·南阳师范学院学报
 
·安阳工学院学报
·地球科学与环境学报
·水利电力机械
·军事通信技术
·油气田环境保护
·连锁与特许
·青年科学
·今日南国
·Journal of Tradition
·浙江传媒学院学报
 
·学会
·生物工程学报
·天津市教科院学报
·中国中医基础医学杂志
·上海立信会计学院学报
·知识经济.中国直销
·江南大学学报(教育科学版)
·中国农业气象
·英语自学
·海洋水产研究
   免费论文
公共管理 | 法学 | 理学 | 医药学
政治 | 社会学 | 文学 | 艺术 | 哲学
工学 | 计算机 | 文化 | 英语论文
经济学 | 财政 税收 | 证券金融
管理学 | 会计审计 | 工商管理 | 教育
财务管理 | 论文写作指导 | 应用文
   收费论文
马列毛邓 | 哲学宗教 | 社会科学
政治法律 | 军 事 | 经 济
文化科学教育体育 | 语言文字
文学 | 艺术 | 历史地理 | 自然科学
数理化 | 天文 | 生物科学 | 医药卫生
农业科学 | 工业技术 | 交通运输
航空航天 | 环境安全
   浏览历史

联系论文网 | 收费论文 | 发表论文 | 论文翻译 | 友情链接 | 全部分类 | 网站地图 | 期刊导航
版权所有 2008-2018 论文天下 www.lunwentianxia.com 京ICP备08104503号