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不同衬底上锆钛酸铅铁电薄膜及其成分梯度薄膜的制备和研究

中文名称: 不同衬底上锆钛酸铅铁电薄膜及其成分梯度薄膜的制备和研究
论文编号: 2862590
英文名称: Preparation and study on lead zirconate titanate ferroelectric thin films and compositionally graded thin films on different substrates
学位类型: 博士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 微电子学与固体电子学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 薄膜 成分 梯度 制备
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