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二氧化硅多孔薄膜及复合热释电薄膜红外探测器阵列研究

中文名称: 二氧化硅多孔薄膜及复合热释电薄膜红外探测器阵列研究
论文编号: 2862438
英文名称: Research on porous silica films and multilayer pyroelectric thin film IR detector arrays
学位类型: 博士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 微电子学与固体电子学
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 二氧化硅 薄膜 复合 红外探测器 探测器
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