| 中文名称： |
RHEED原位监测的PEMOCVD方法及GaN基薄膜低温生长 |
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| 论文编号： |
2859279 |
| 英文名称： |
PEMOCVD Method with RHEED in Situ Monitoring and Low Temperature Growth of GaN Based Films |
| 学位类型： |
博士毕业论文 |
| 作者： |
涉及隐私，隐去*** 作者本人请参看权力声明>> |
| 导师： |
涉及隐私，隐去*** |
| 毕业学校： |
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| 专业： |
材料学  |
| 毕业年份： |
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| 关键字： |
薄膜 低温 PEMOCVD 反射高能电子衍射 氮化镓 氮化铝 等离子体 电子回旋共振 低温生长 原位监测 |
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