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nc-TiN/a-Si3N4超硬薄膜的弹性模量和内耗研究
中文名称：
nc-TiN/a-Si3N4超硬薄膜的弹性模量和内耗研究
论文编号：
2555374
英文名称：
Elastic modulus and internal friction study of nc-TiN/a-Si3N4 superhard films
学位类型：
博士毕业论文
作者：
涉及隐私，隐去***
作者本人请参看权力声明>>
导师：
涉及隐私，隐去***
毕业学校：
涉及隐私，隐去***
专业：
凝聚态物理
毕业年份：
涉及隐私，隐去***
关键字：
薄膜
弹性模量
全文提供：
本论文应版权问题不能提供全文。
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nc-TiN/a-Si3N4超硬薄膜的弹性模量和内耗研究
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